由微孔陶瓷匀流布气装置和使用压缩空气的臭氧发生器组成，可适用于常规电池产线的5道和8道刻蚀机.

    多通道微孔陶瓷布气装置由均匀分布的无限个微孔布气，与传统塑料打孔的布气板（布气孔不连续、间隔分布）相比，布气更加均匀、无死角，可保证每个通道的硅片形成均匀的氧化膜；在布气板的二侧设置有臭氧废气收集通道，便于臭氧废气回收排放。

    臭氧发生器使用CDA作为气源、内置制氧机制备氧气，再进入高压高频放电装置制备臭氧，比直接使用氧气作为气源的臭氧发生器，可降低运行成本；本设备预留有氧气气源入口，如果需要，也可使用氧气作为气源。无论使用何种气源，都可以保证无水冷状态下24小时不停机连续运转。

    为了消除或减轻硅片氧化后的辊道印问题，我公司开发了一种消除辊道印的装置，配合我司的微孔陶瓷布气臭氧设备一起使用，可有效消除辊道印。